Reliability Considerations for Electrostatic Polysilicon Actuators Using as an Example the REMO-Component
1996
Détails
Titre
Reliability Considerations for Electrostatic Polysilicon Actuators Using as an Example the REMO-Component
Auteur(s)
Marxer, C. ; Grétillat, M.-A. ; de Rooij, N. F. ; Baettig, R. ; Anthamatten, O. ; Valk, B. ; Vogel, P.
Publié dans
Eurosensors X - The 10th European Conference on Solid-State Transducers
Pages
1117-1120
Date
1996
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12