Reliability Considerations for Electrostatic Polysilcion Actuators Using as an Example the Remo-Component
1997
Détails
Titre
Reliability Considerations for Electrostatic Polysilcion Actuators Using as an Example the Remo-Component
Auteur(s)
Marxer, C. ; Grétillat, M.-A. ; de Rooij, N. F. ; Anthamatten, O. ; Baettig, R. ; Valk, B. ; Vogel, P.
Publié dans
Sensors and Actuators A
Volume
61
Numéro
3
Pages
449-454
Date
1997
Note
170
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12