Breakdown Mechanisms of Electrostatic Polysilicon Actuators Using as an Example the REMO Component
1996
Détails
Titre
Breakdown Mechanisms of Electrostatic Polysilicon Actuators Using as an Example the REMO Component
Auteur(s)
Marxer, C. ; Grétillat, M.-A. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
IEEE/LEOS 1996 Summer Topical Meeting Optical MEMS and their applications
Pages
15-16
Date
1996
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12