Détails
Titre
Multilayer surface micromachining: microresonators & microrelays.
Auteur(s)
GRETILLAT, Marc-Alexis
Directeur(s)
Date
1997
Editeur
Université de Neuchâtel
Note
Jury: H.P. Herzig (IMT-UniNE), S.D. Senturia (MIT, Cambridge USA), Ph. D. Harrie et A.C. Tilmans (CPCLARE Corp. Hasselt, B).
Laboratoires
SAMLAB
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Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Thèses
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Date de création de la notice
2009-05-12