Flexural-Plate-Wave Actuators Based on PZT Thin Film
1997
Détails
Titre
Flexural-Plate-Wave Actuators Based on PZT Thin Film
Auteur(s)
Luginbuhl, Ph. ; Collins, S. D. ; Racine, G.-A. ; Grétillat, M.-A. ; de Rooij, N. F. ; Brooks, K. G. ; Setter, N.
Publié dans
MEMS'97 IEEE 10th Annual Internat. Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
Pages
327-332
Date
1997
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12