Remote Electromagnetic Excitation of High-Q Silicon Resonator Sensors
2006
Détails
Titre
Remote Electromagnetic Excitation of High-Q Silicon Resonator Sensors
Auteur(s)
Lucklum, F. ; Jakoby, B. ; Hauptmann, P. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
IEEE International Frequency Control Symposium
Pages
139-144
Date
2006
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12