Deep Dry Etching of Silicon - A Novel Micromachining Tool
1992
Détails
Titre
Deep Dry Etching of Silicon - A Novel Micromachining Tool
Auteur(s)
Linder, C. ; Tschan, T. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Sensors and Materials
Pages
311-324
Date
1992
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12