Investigations on Free-Standing Polysilicon Beams in View of their Application as Transducers
1990
Détails
Titre
Investigations on Free-Standing Polysilicon Beams in View of their Application as Transducers
Auteur(s)
Linder, C. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Sensors and Actuators A
Volume
21-23
Pages
1053-1059
Date
1990
Note
34
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12