Polysilicon Beams Realized by Surface Micromachining and their Applications as Transducers
1990
Détails
Titre
Polysilicon Beams Realized by Surface Micromachining and their Applications as Transducers
Auteur(s)
Linder, C.
Publié dans
Integrierte Mikrosysteme und ihre Anwendungen
Date
1990
Note
35
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12