Fabrication of electrically insulated microchannels in silicon (poster)
2000
Détails
Titre
Fabrication of electrically insulated microchannels in silicon (poster)
Auteur(s)
Lichtenberg, J. ; Lammel, G. ; Oulevey, M. ; Verpoorte, E. ; Renaud, P. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Eurosensors XIV 14th European Conference on Solid-State Transducers
Pages
463-466
Date
2000
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12