A high insulating thin film ZnO piezoelectric actuator on a Polyimide substrate
2002
Détails
Titre
A high insulating thin film ZnO piezoelectric actuator on a Polyimide substrate
Auteur(s)
Kuoni, A. ; Quinche, C. ; Boillat, M. ; Keppner, H. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
The 16th European Conference on Solid-State Transducers
Date
2002
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12