A Polyimide membrane with ZnO piezoelectric thin film pressure transducers as a differential pressure liquid flow sensor
2002
Détails
Titre
A Polyimide membrane with ZnO piezoelectric thin film pressure transducers as a differential pressure liquid flow sensor
Auteur(s)
Kuoni, A. ; Holzherr, R. ; Boillat, M. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Micromechanics Europe Workshop
Pages
267-270
Date
2002
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12