Optimized Design and Fabrication Methods for Miniature Piezoresistive Pressure Sensors
1986
Détails
Titre
Optimized Design and Fabrication Methods for Miniature Piezoresistive Pressure Sensors
Auteur(s)
Kloeck, B. ; Stauffer, B. ; Scott, D. C. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Capteurs'86
Pages
74-79
Date
1986
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12