Novel Polysilicon Comb-Actuators for XY-Stages
1992
Détails
Titre
Novel Polysilicon Comb-Actuators for XY-Stages
Auteur(s)
Jaecklin, V. P. ; Linder, C. ; de Rooij, N. F. ; Moret, J. M. ; Bischof, R. ; Rudolf, F.
Publié dans
Micro Electro Mechanical Systems'92
Pages
147-149
Date
1992
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12