Détails
Titre
Comb Actuators for XY-Microstages
Auteur(s)
Jaecklin, V. P. ; Linder, C. ; de Rooij, N. F. ; Moret, J.-M.
Publié dans
Sensors and Actuators A
Volume
39
Pages
83-89
Date
1993
Note
91
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Travail hors EPFL
Articles de journaux
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Date de création de la notice
2009-05-12