Microsystems Research and Development at IMT Neuchatel - Optical Microshutters and Torsional Micromirrors
1993
Détails
Titre
Microsystems Research and Development at IMT Neuchatel - Optical Microshutters and Torsional Micromirrors
Auteur(s)
Jaecklin, V. P. ; Linder, C.
Publié dans
Journal of Micromachine Society
Volume
6
Numéro
1
Pages
106
Date
1993
Note
97
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12