A study of epitaxial piezoelectric thin films grown on silicon for energy scavenging applications
2008
Détails
Titre
A study of epitaxial piezoelectric thin films grown on silicon for energy scavenging applications
Auteur(s)
Isarakorn, D. ; Briand, D. ; Gariglio, S. ; Sambri, A. ; Stucki, N. ; Triscone, J.-M. ; Guy, F. ; Reiner, J. W. ; Ahn, C. H. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
PowerMEMS 2008
Pages
269-272
Présenté à
PowerMEMS 2008 + MicroEMS 2008, Sendai, November 9-12, 2008
Date
2008
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12