Establishment of a technology platform for epitaxial piezoelectric MEMS
2008
Détails
Titre
Establishment of a technology platform for epitaxial piezoelectric MEMS
Auteur(s)
Isarakorn, D. ; Briand, D. ; Gariglio, S. ; Sambri, A. ; Stucki, N. ; Triscone, J.-M. ; Guy, F. ; Baek, S.-H. ; Eom, C.-B. ; Reiner, J. W. ; Ahn, C. H. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Proceedings of 22nd International Conference Eurosensors
Volume
1
Pages
819-822
Présenté à
Eurosensors XXII, Dresden, Germany, September 7-10, 2008
Date
2008
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12