Atomic Force Microscopy Using Cantilevers with Integrated Tips and Piezoelectric Layers for Actuation and Detection
1997
Détails
Titre
Atomic Force Microscopy Using Cantilevers with Integrated Tips and Piezoelectric Layers for Actuation and Detection
Auteur(s)
Indermühle, P.-F. ; Schürmann, G. ; Racine, G.-A. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Journal of Micromechanics and Microengineering
Numéro
7
Pages
218-220
Date
1997
Note
158
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12