Fabrication and Characterization of Cantilevers with Integrated Sharp Tips and Piezoelectric Elements for Actuation and Detection for Parallel AFM Applications
1996
Détails
Titre
Fabrication and Characterization of Cantilevers with Integrated Sharp Tips and Piezoelectric Elements for Actuation and Detection for Parallel AFM Applications
Auteur(s)
Indermühle, P.-F. ; Schürmann, G. ; Racine, G.-A. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Eurosensors X - The 10th European Conference on Solid-State Transducers
Pages
481-484
Date
1996
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
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Date de création de la notice
2009-05-12