Integration of a Large Tip with High Aspect Ratio on an xy-Microstage for AFM Imaging
1995
Détails
Titre
Integration of a Large Tip with High Aspect Ratio on an xy-Microstage for AFM Imaging
Auteur(s)
Indermühle, P.-F. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Transducers'95 the 8th Internat. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators
Pages
652-655
Date
1995
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Date de création de la notice
2009-05-12