A novel pneumatic actuator system realised by microelectro-discharge machining
1998
Détails
Titre
A novel pneumatic actuator system realised by microelectro-discharge machining
Auteur(s)
Hirata, T. ; Akashi, T. ; Bertholds, A. ; Gruber, H. P. ; Schmid, A. ; Grétillat, M.-A. ; Guenat, O. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
MEMS '98 11th Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
Pages
160-165
Date
1998
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12