Microstructuring of Silicon by Electro-Discharge Machining (EDM) - part II: Applications
1996
Détails
Titre
Microstructuring of Silicon by Electro-Discharge Machining (EDM) - part II: Applications
Auteur(s)
Heeren, P. H. ; Beuret, C. ; Larsson, O. ; Bertholds, A. ; Reynaerts, D.
Publié dans
Eurosensors X - The 10th European Conference on Solid-State Transducers
Pages
255-258
Date
1996
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12