A pneumatic air table realized by microelectro-discharge machining
1998
Détails
Titre
A pneumatic air table realized by microelectro-discharge machining
Auteur(s)
Guenat, O. ; Hirata, T. ; Akashi, T. ; Grétillat, M.-A. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Journal of Microelectromechanical Systems
Volume
7
Numéro
4
Pages
380-386
Date
1998
Note
181
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12