Nonlinear Electromechanical Behavior of an Electrostatic Microrelay
1997
Détails
Titre
Nonlinear Electromechanical Behavior of an Electrostatic Microrelay
Auteur(s)
Grétillat, M.-A. ; Yang, Y.-J. ; Hung, E. S. ; Rabinovich, V. ; Ananthasuresh, G.-K. ; de Rooij, N. F. ; Senturia, S. D.
Publié dans
Transducers'97 the 9th Internat. Conf. on Solid-State Sensors & Actuators
Volume
2
Pages
1141-1144
Date
1997
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12