Electrostatic Polysilicon Microrelays Integrated with MOSFETs
1994
Détails
Titre
Electrostatic Polysilicon Microrelays Integrated with MOSFETs
Auteur(s)
Grétillat, M.-A. ; Thiébaud, P. ; de Rooij, N. F. ; Linder, C.
Publié dans
IEEE Micro Electro Mechanical Systems
Pages
97-101
Date
1994
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12