Surface-Micromachined Ta-Si-N Beams for Use in Micromechanics
1997
Détails
Titre
Surface-Micromachined Ta-Si-N Beams for Use in Micromechanics
Auteur(s)
Grétillat, M.-A. ; Linder, C. ; Dommann, A. ; Staufert, G. ; de Rooij, N. F. ; Nicolet, M. A.
Publié dans
8th Workshop on Micromachining
Pages
63-66
Date
1997
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12