MEMS Fabrication based on Epitaxial Piezoelectric Thin Films on Silicon
2008
Détails
Titre
MEMS Fabrication based on Epitaxial Piezoelectric Thin Films on Silicon
Auteur(s)
Gariglio, S. ; Stucki, N. ; Triscone, J.-M. ; Isarakorn, D. ; Briand, D. ; de Rooij, N. F. ; Baek, S.-H. ; Eom, C.-B. ; Reiner, J. W. ; Ahn, C. H.
Publié dans
Workshop on Oxide Electronics 15
Date
2008
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12