Reciprocating Silicon Microtribometer
2003
Détails
Titre
Reciprocating Silicon Microtribometer
Auteur(s)
Dubois, P. ; von Gunten, S. ; Enzler, A. ; Lippuner, U. ; Dommann, A. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS II
Série
SPIE Proceedings, 4980
Pages
163-174
Présenté à
Micromachining and Microfabrication, San Jose, CA, United States
Date
2003
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12