High-speed electrostatic gas microvalve switching behavior
2001
Détails
Titre
High-speed electrostatic gas microvalve switching behavior
Auteur(s)
Dubois, P. ; Guldimann, B. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Microfluidics and BioMEMS
Série
4560, SPIE Proceedings
Pages
217-226
Présenté à
Micromachining and Microfabrication, 21-25 October 2001, San Francisco, CA, United States
Date
2001
Note
263
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12