Electron-Beam Microcolumn Fabrication and Testing
1996
Détails
Titre
Electron-Beam Microcolumn Fabrication and Testing
Auteur(s)
Despont, M. ; Staufer, U. ; Stebler, C. ; Gross, H. ; Vettiger, P.
Publié dans
Microelectronic Engineering
Volume
30
Pages
69-72
Date
1996
Note
149
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Articles de journaux
Publié
Publications validées par des pairs
Travail hors EPFL
Articles de journaux
Publié
Date de création de la notice
2009-05-12