Fabrication Process of High Aspect Ratio Elastic Structures for Piezoelectric Motor Applications
1997
Détails
Titre
Fabrication Process of High Aspect Ratio Elastic Structures for Piezoelectric Motor Applications
Auteur(s)
Dellmann, L. ; Roth, S. ; Beuret, C. ; Racine, G.-A. ; Lorenz, H. ; Despont, M. ; Renaud, P. ; Vettiger, P. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Transducers'97 the 9th Internat. Conf. on Solid-State Sensors & Actuators
Volume
1
Pages
641-644
Date
1997
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Date de création de la notice
2009-05-12