MEMS Hotplates with TiN as a Heater Material
2005
Détails
Titre
MEMS Hotplates with TiN as a Heater Material
Auteur(s)
Cremer, J. F. ; Briand, D. ; van der Vlist, W. ; de Boer, C. ; de Rooij, N. F. ; Zandbergen, H. W. ; Sarro, P. M.
Publié dans
The 4th IEEE Conference on Sensors 2005
Pages
330-333
Date
2005
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
Date de création de la notice
2009-05-12