Realization of a Mesa Array in (001) Oriented Silicon Wafers for Tactile Sensing Applications
1986
Détails
Titre
Realization of a Mesa Array in (001) Oriented Silicon Wafers for Tactile Sensing Applications
Auteur(s)
Buser, R. ; Stauffer, B. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Extended Abstracts of the Fall Meeting of the Electrochemical Society
Pages
879-880
Date
1986
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12