From the Mask Layout to the Performance of a Device : A Complete CAD System for Micromachined Monocrystalline Silicon Structure
1990
Détails
Titre
From the Mask Layout to the Performance of a Device : A Complete CAD System for Micromachined Monocrystalline Silicon Structure
Auteur(s)
Buser, R. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
MME'90 workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems
Date
1990
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12