Détails
Titre
Very High Q-Factor Resonators in Monocrystalline Silicon
Auteur(s)
Buser, R. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Sensors and Actuators A
Volume
21-23
Pages
323-327
Date
1990
Note
42
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Travail hors EPFL
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Date de création de la notice
2009-05-12