Micromachined Silicon Cantilevers and Tips for Bidirectional Force Microscopy
1991
Détails
Titre
Micromachined Silicon Cantilevers and Tips for Bidirectional Force Microscopy
Auteur(s)
Buser, R. ; Brugger, J. ; Linder, C. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Transducers'91 the 6th Internat. Conf. Solid-State Sensors and Actuators
Pages
249-252
Date
1991
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12