Electrostatically Actuated Silicon Micromachined Sensors for Scanning Force Microscopy
1995
Détails
Titre
Electrostatically Actuated Silicon Micromachined Sensors for Scanning Force Microscopy
Auteur(s)
Blanc, N. ; Brugger, J. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Forces in Scanning Probe Methods
Série
NATO ASI Series, 286
Pages
79-84
Date
1995
Editeur
Dordrecht, Kluwer
ISBN
94-011-0049-7
Note
128
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Chapitres de livre
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12