Fabrication of an Overhanging XY-Microactuator with Integrated Tip for Scanned Surface Profiling
1993
Détails
Titre
Fabrication of an Overhanging XY-Microactuator with Integrated Tip for Scanned Surface Profiling
Auteur(s)
Brugger, J. ; Jaecklin, V. P. ; Indermühle, P.-F. ; Linder, C. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Transducers'93 the 7th Internat. Conf. on Solid-State Sensors and Actuators
Pages
1044-1047
Date
1993
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12