MOLPCVD of Ta2O5 using TaC12H30O5N as Precursor for Batch Fabrication
2003
Détails
Titre
MOLPCVD of Ta2O5 using TaC12H30O5N as Precursor for Batch Fabrication
Auteur(s)
Briand, D. ; Mondin, G. ; Jenny, S. ; Banakh, O. ; van der Wal, P. D. ; Jeanneret, S. ; Keppner, H. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
203rd Electrochemical Society Meeting
Volume
2
Pages
790-797
Date
2003
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12