Microfabrication of 3D Multidirectional Inclined Structures by UV Lithography and Electroplating
1994
Détails
Titre
Microfabrication of 3D Multidirectional Inclined Structures by UV Lithography and Electroplating
Auteur(s)
Beuret, C. ; Racine, G.-A. ; Gobet, J. ; Luthier, R. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
IEEE Micro Electro Mechanical Systems
Pages
81-85
Date
1994
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12