Fabrication of Metallic Probes by a New Technology Based on Double moulding
1997
Détails
Titre
Fabrication of Metallic Probes by a New Technology Based on Double moulding
Auteur(s)
Beuret, C. ; Niedermann, P. ; Staufer, U. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Micro- and Nano-Engineering '97
Pages
39873
Date
1997
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-05-12