Design Fabrication and Characterization of Piezoresistive Pressure Sensors, including the Study of Electrochemical ETCH-STOP
1989
Détails
Titre
Design Fabrication and Characterization of Piezoresistive Pressure Sensors, including the Study of Electrochemical ETCH-STOP
Auteur(s)
KLOECK, Benjamin
Directeur(s)
Date
1989
Editeur
Université de Neuchâtel
Note
Jury: A. Shah, W. Sansen (Leuven), A. Kayal (NE), M. Ilegems (EPFL).
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
Travail hors EPFL
Thèses
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Date de création de la notice
2009-05-12