Integrated atomic force microscopy array probe with metal-oxide-semiconductor field effect transistor stress sensor, thermal bimorph actuator, and on-chip complementary metal-oxide-semiconductor electronics
2000
Résumé
A fully functional arrangement of a 2×1 array of active and self-detecting cantilevers, stress sensing metal-oxide-semiconductor transistors and thermal bimorph actuators was introduced. One of the two cantilevers was used as a reference while the other one was in AFM operation to compensate for the crosscoupling signal from the actuator to the sensor. This arrangement was not found applicable for many cantilevers in parallel.
Détails
Titre
Integrated atomic force microscopy array probe with metal-oxide-semiconductor field effect transistor stress sensor, thermal bimorph actuator, and on-chip complementary metal-oxide-semiconductor electronics
Auteur(s)
Akiyama, T. ; Staufer, U. ; de Rooij, N. F. ; Lange, D. ; Hagleitner, C. ; Brand, O. ; Baltes, H. ; Tonin, A. ; Hidber, H.-R.
Publié dans
Journal Vacuum Scientific Technology
Volume
B18
Pages
2669-2675
Date
2000
Note
227
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12