Microfabricated Electrical Connector for Atomic Force Microscopy Probes with Integrated Sensor/Actuator
2002
Détails
Titre
Microfabricated Electrical Connector for Atomic Force Microscopy Probes with Integrated Sensor/Actuator
Auteur(s)
Akiyama, T. ; Staufer, U. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Japanese Journal of Applied Physics
Volume
4
Pages
4332-4334
Date
2002
Note
281
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12