Fast driving technique for integrated thermal bimorph actuator toward high-throughput atomic-force microscopy
2002
Détails
Titre
Fast driving technique for integrated thermal bimorph actuator toward high-throughput atomic-force microscopy
Auteur(s)
Akiyama, T. ; Staufer, U. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
Review of Scientific Instruments
Volume
73
Numéro
7
Pages
2643-2646
Date
2002
ISSN
00346748
Note
294
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12