Wafer- and piece-wise Si tip transfer technologies for applications in scanning probe microscopy
1999
Détails
Titre
Wafer- and piece-wise Si tip transfer technologies for applications in scanning probe microscopy
Auteur(s)
Akiyama, T. ; Staufer, U. ; de Rooij, N. F.
Publié dans
IEEE Journal of Microelectromechanical Systems
Volume
8
Numéro
1
Pages
65-70
Date
1999
Note
211
Laboratoires
SAMLAB
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > SAMLAB - Laboratoire de capteurs, actuateurs et microsystèmes
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Date de création de la notice
2009-05-12