Metrology of refractive microlens arrays
2004
Détails
Titre
Metrology of refractive microlens arrays
Auteur(s)
Weible, K. J. ; Völkel, R. ; Eisner, M. ; Hoffmann, S. ; Scharf, T. ; Herzig, H. P.
Publié dans
Optical Micro- and Nanometrology in Manufacturing Tecnology
Série
Proc. SPIE, 5458
Pages
43-51
Date
2004
Editeur
SPIE-The International Society for Optical Engineering, Bellingham, USA
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-04-22