Infra-red MEMS-based Lamellar Grating Spectrometer
2004
Détails
Titre
Infra-red MEMS-based Lamellar Grating Spectrometer
Auteur(s)
Manzardo, O. ; Schädelin, F. ; Noell, W. ; de Rooij, N. F. ; Herzig, H. P.
Publié dans
MEMS, MOEMS, and Micromachinig
Série
Proc. SPIE, 5455
Pages
1-8
Date
2004
Editeur
SPIE-The International Society for Optical Engineering, Bellingham, USA
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
Travail hors EPFL
Papiers de conférence
Publié
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Date de création de la notice
2009-04-22