Détails
Titre
Application of Diffractive and Micro-Optics in Lithography
Auteur(s)
Kettunen, V. ; Herzig, H. P.
Publié dans
Encyclopedia of Modern Optics
Pages
281-290
Date
2004
Editeur
Elsevier, Oxford
ISBN
0-12-227600-0
Laboratoires
OPT
Le document apparaît dans
Production scientifique et compétences > STI - Faculté des sciences et techniques de l'ingénieur > STI Archives > OPT - Laboratoire d'optique appliquée
Travail hors EPFL
Chapitres de livre
Publié
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Date de création de la notice
2009-04-22